液晶显示面板的薄膜晶体管基板与其制作方法

摘要

本发明提供一种液晶显示面板的薄膜晶体管基板与其制作方法。此液晶显示面板的薄膜晶体管基板包括一基板、一储存电容电极、一第一绝缘层、一栅极、一栅极绝缘层、一图案化半导体层、一源极与一漏极、一第二绝缘层、以及至少一像素电极。其中，部分的像素电极与部分的储存电容电极彼此重迭，以形成一储存电容，且储存电容电极包括一图案化透明导电层与一图案化不透明导电层。再者，图案化透明导电层与图案化不透明导电层的设置位置由一灰阶光罩定义，并且图案化透明导电层的面积大于图案化不透明导电层的面积，以提升开口率。

主权项

一种液晶显示面板的薄膜晶体管基板的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板；于该基板上形成一透明导电层与一不透明导电层，其中该不透明导电层设置于该透明导电层上；利用一灰阶光罩，图案化该透明导电层与该不透明导电层，以形成至少一储存电容电极，其中该储存电容电极包括一图案化透明导电层与一图案化不透明导电层，且该图案化透明导电层的面积大于该图案化不透明导电层的面积；于该储存电容电极上形成一第一绝缘层；于该基板上形成至少一栅极；于该栅极上依序至少形成一栅极绝缘层、一图案化半导体层、一源极与一漏极、以及一第二绝缘层；以及于该第二绝缘层与该第一绝缘层上形成至少一像素电极，其中部分该像素电极与部分该储存电容电极彼此重迭，以形成一储存电容。