基于位移传感器的球面曲率半径检测方法

摘要

基于位移传感器的球面曲率半径检测方法属于光学检测技术领域。现有技术采用自准直球径仪检测球面曲率半径，检测范围有限。本发明由成像光学系统对无穷远处清晰成像，此时成像光学系统主面H的位置为初始零点；再由成像光学系统通过调焦对一个近距离物点A清晰成像，得到成像光学系统主面H的位移ΔS1′；将待测球面加入到物点A与无穷远处之间，待测球面顶点位于成像光学系统光轴上，并且与成像光学系统像面相距定值L，由成像光学系统通过调焦对物点A的待测球面反射像A′清晰成像，得到成像光学系统主面H的位移ΔS2′；根据所得到的位移ΔS1′、ΔS2′以及成像光学系统的焦距f、待测球面顶点与成像光学系统像面相距定值L计算待测球面的曲率半径r。

主权项

一种基于位移传感器的球面曲率半径检测方法，其特征在于，由成像光学系统(1)对无穷远处清晰成像，此时成像光学系统(1)主面H的位置为初始零点；再由成像光学系统(1)通过调焦对一个近距离物点A清晰成像，得到成像光学系统(1)主面H的位移ΔS1′；将待测球面(2)加入到物点A与无穷远处之间，待测球面(2)顶点位于成像光学系统(1)光轴上，并且与成像光学系统(1)像面相距定值L，由成像光学系统(1)通过调焦对物点A的待测球面(2)反射像A′清晰成像，得到成像光学系统(1)主面H的位移ΔS2′；根据所得到的位移ΔS1′、ΔS2′以及成像光学系统(1)的焦距f、待测球面(2)顶点与成像光学系统(1)像面相距定值L计算待测球面(2)的曲率半径r。