缺陷修复装置和缺陷修复方法

摘要

本发明涉及缺陷修复装置和缺陷修复方法。该缺陷修复装置包括缺陷检测单元、数据库、缺陷修复单元和控制单元。缺陷检测单元检查其上形成有重复图案的多层基板，并且提取关于重复图案中的缺陷的位置信息和关于缺陷的特征信息。多个缺陷修复技术被登记在数据库中。缺陷修复单元利用指定的缺陷修复技术来修复多层基板的缺陷。控制单元读取针对缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且利用该缺陷修复技术来控制修复缺陷的缺陷修复单元。

主权项

一种缺陷修复装置，包括：缺陷检测单元，用于检查其上形成有重复图案的多层基板，并且提取关于所述重复图案中的缺陷的位置信息以及关于所述缺陷的特征信息；数据库，多个缺陷修复技术被登记在该数据库中；缺陷修复单元，用于利用指定的缺陷修复技术来修复所述多层基板的缺陷；控制单元，用于基于所述多层基板的层结构从所述数据库中读取针对所述缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且控制利用该缺陷修复技术来修复所述缺陷的所述缺陷修复单元，其中，所述控制单元包括：区域信息获得单元，用于获得所述缺陷的区域信息即第一区域信息；区域匹配率/不匹配率计算单元，用于计算由所述区域信息获得单元获得的第一区域信息和所述重复图案中的预先登记的区域信息即第二区域信息之间的区域匹配率和区域不匹配率；缺陷区域判断水平计算单元，用于基于预定的阈值来判断由所述区域匹配率/不匹配率计算单元计算出的区域匹配率和区域不匹配率的水平；模板选择判断水平计算单元，用于基于所述缺陷区域判断水平计算单元的判断结果来选择表示缺陷修复技术的模板；模板输出判断水平计算单元，用于基于预定的判断水平，确定由所述模板选择判断水平计算单元所选择的模板的输出优先次序；以及缺陷修复执行单元，用于利用基于所述模板输出判断水平计算单元所确定的优先次序的缺陷修复技术来控制所述缺陷修复单元。