| 发明名称 | 光学元件保持装置、镜筒及曝光装置以及器件的制造方法 | ||
| 摘要 | 光学元件保持装置(29)具备：覆盖透镜(28)的外周侧部分的圆环状的振动衰减板(41)、由减振合金制成的用于将该振动衰减板相对于透镜(28)的表面以非接触的状态固定于框体上的连接构件(42)。由振动衰减板(41)、在该振动衰减板与透镜(28)的表面之间所形成的间隙(C)内存在的氮气构成挤压膜减震器。 | ||
| 申请公布号 | CN101681009B | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN200880018232.2 | 申请日期 | 2008.04.21 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 新井洋一 |
| 分类号 | G02B7/02(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G02B7/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 经志强;杨林森 |
| 主权项 | 一种光学元件保持装置，用于保持光学元件，其特征在于，具有：保持部，其保持所述光学元件；振动衰减构件，其相对于被保持于所述保持部的所述光学元件的表面中的与光所入射的入射区域不同的区域的至少一部分表面以非接触的状态设置，使所述光学元件中产生的振动衰减，利用所述光学元件的所述至少一部分表面与所述振动衰减构件之间的流体的压力变动，使所述光学元件中产生的振动衰减。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||