波像差校正装置及方法

摘要

一种波像差校正装置及方法。所述校正装置包括波像差测量系统，测量投影物镜的波像差；信号处理系统，对所述投影物镜的波像差进行处理并输出驱动电压信号；液体镜头，根据所述驱动电压信号产生形变进行投影物镜的波像差校正。校正方法包括波像差测量系统在像面测量波像差，计算所述投影物镜的波像差与要求值的偏差，拟合为波前误差，将所述波前误差发送到信号处理系统；所述信号处理系统将接收到的波前误差转换为液体镜头的形变偏差，根据所述液体镜头的形变偏差输出驱动直流电压；驱动直流电压使液体镜头发生形变。所述波像差校正装置及校正方法能够实现校正投影物镜波像差，该校正装置结构简单、成本低、操作容易、使用寿命长。

主权项

一种波像差校正装置，其特征在于，包括：波像差测量系统，测量投影物镜的波像差；信号处理系统，对所述投影物镜的波像差进行数据处理并输出驱动电压信号；液体镜头，设置在所述投影物镜中，接受并根据所述驱动电压信号产生物理形变，用以校正所述投影物镜的波像差。