使用复合正弦波驱动电压的光偏转器的驱动器及其设置方法

摘要

使用复合正弦波驱动电压的光偏转器的驱动器及其设置方法。光偏转器包括反射镜、支撑反射镜的可动框、围绕可动框的支撑体和用作悬臂的交替的第一组压电致动器及第二组压电致动器，压电致动器在各自处折返并从支撑体连接到可动框，且分别平行于反射镜的一个轴。生成第一组压电致动器的第一驱动电压，其具有包含第一上升周期及下降周期的第一重复波。第一上升周期和下降周期中的一方大于另一方。生成第二组压电致动器的第二驱动电压，其具有包含与所述第一上升周期对应的第二下降周期和与所述第一下降周期对应的第二上升周期的第二重复波。第一和第二重复波的频率排除了反射镜的机械振动系统关于其轴的、取决于压电致动器的固有频率。

主权项

一种用于驱动光偏转器的驱动器，该光偏转器包括：反射镜；可动框，其用于支撑所述反射镜；支撑体，其围绕所述可动框；和用作悬臂的第一组压电致动器，以及与所述第一组压电致动器交替的用作悬臂的第二组压电致动器，所述压电致动器在每个致动器处折返并从所述支撑体连接到所述可动框，各个所述压电致动器与所述反射镜的一个轴平行，所述驱动器生成具有第一重复波的第一驱动电压，所述第一重复波各具有第一上升周期和第一下降周期，所述第一上升周期和所述第一下降周期中的一方大于另一方，所述驱动器对所述第一组压电致动器施加所述第一驱动电压，所述驱动器生成具有第二重复波的第二驱动电压，所述第二重复波各具有与所述第一驱动电压的所述第一上升周期对应的第二下降周期和与所述第一驱动电压的所述第一下降周期对应的第二上升周期，使得所述第二驱动电压与所述第一驱动电压反相，所述驱动器对所述第二组压电致动器施加所述第二驱动电压，其中所述第一重复波和第二重复波的频率排除了所述反射镜关于其所述轴的机械振动系统的、取决于所述压电致动器的固有频率。