| 发明名称 | 光刻胶容器 | ||
| 摘要 | 本实用新型的光刻胶容器包括盛装腔体，所述盛装腔体的底端面呈V型，且其设有下沉式凹槽。本实用新型的光刻胶容器可减少容器更换时剩余在容器内的光刻胶的量，节约生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202423237U | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN201120502937.0 | 申请日期 | 2011.12.06 |
| 申请人 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 发明人 | 袁伟 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种光刻胶容器，其特征在于，包括盛装腔体，所述盛装腔体的底端面呈V型，且其中央设有下沉式凹槽。 | ||
| 地址 | 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号 | ||