| 发明名称 | 一种气体传感器芯片 | ||
| 摘要 | 一种气体传感器芯片，包括玻璃基底，在玻璃基底上采用微电子工艺加工有加热电极和敏感电极，在加热电极和敏感电极上烧结有敏感材料，本实用新型采用了微电子工艺，能够实现批量生产，整个元件的结构简单，体积小，成本低。 | ||
| 申请公布号 | CN202421118U | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN201120538765.2 | 申请日期 | 2011.12.15 |
| 申请人 | 西安威正电子科技有限公司 | 发明人 | 陈志平;李肖华;刘海红 |
| 分类号 | G01N27/26(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人 | 贺建斌 |
| 主权项 | 一种气体传感器芯片，包括玻璃基底(1)，其特征在于：在玻璃基底(1)上采用微电子工艺加工有加热电极(2)和敏感电极(3)，在加热电极(2)和敏感电极(3)上烧结有敏感材料(4)。 | ||
| 地址 | 710077 陕西省西安市高新区锦业路69号C区1号瞪羚谷B栋6层 | ||