发明名称 |
阵列基板及其制造方法和显示装置 |
摘要 |
本发明提供一种阵列基板及其制造方法和显示装置,涉及显示技术领域,降低阵列基板生产难度,简化了阵列基板的制造工艺,降低了生产成本。一种阵列基板,包括:位于基板上的顶栅底接触构型的薄膜晶体管,薄膜晶体管的栅极与栅线连接,源极与数据线连接,漏极与像素电极连接。一种阵列基板的制造方法,包括:通通过第一次构图工艺在基板上形成包括源漏电极、像素电极和数据线的图形;通过第二次构图工艺形成包括半导体层、栅极绝缘层、栅极和栅线的图形;通过第三次构图工艺形成包括钝化层和钝化层过孔的图形。一种显示装置,包括上述的阵列基板。 |
申请公布号 |
CN102655155A |
申请公布日期 |
2012.09.05 |
申请号 |
CN201210046972.5 |
申请日期 |
2012.02.27 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
张学辉 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种阵列基板,包括:基板,以及位于所述基板上的栅线、数据线、薄膜晶体管和像素电极,其特征在于,所述薄膜晶体管为顶栅底接触构型的薄膜晶体管,所述顶栅底接触构型的薄膜晶体管的栅极与所述栅线连接,源极与所述数据线连接,漏极与所述像素电极连接。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |