多晶硅还原炉尾气出口装置

摘要

本实用新型提供的多晶硅还原炉尾气出口装置，包括盖板、内伸管、底盘上底板、底盘下底板和尾气出口管。其中：盖板与内伸管上端连接；内伸管下端与尾气出口管连接，内伸管上均匀分布数个轴向或切向的通孔，通孔形状为长方形、正方形、菱形或圆形等；尾气出口管焊接于底盘上底板和底盘下底板。本实用新型改变了尾气出口处流场分布，保证了还原炉尾气管道的畅通，后续设备工艺气体的清洁度，增加原料气体在炉内的停留时间，提高了多晶硅的沉积率。

主权项

多晶硅还原炉尾气出口装置，包括多晶硅还原炉底盘的上底板、下底板、尾气出口管(5)，所述尾气出口管与所述上底板、下底板连接，其特征在于：还包括内伸管与盖板，所述盖板与内伸管上端连接，所述内伸管下端与尾气出口管连接；内伸管上开有通孔。