发明名称 | 用于缺陷检测的方法及系统 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于缺陷检测的系统、方法和计算机程序产品,该方法包括:(i)检索与目标的第一图像的测试像素相对应的第二图像的第二像素;其中第一和第二图像使用不同的获得方法得到;(ii)搜索第二图像的第三像素,从而使得第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似;(iii)检索与第三像素相对应的第一图像的第四像素;以及(iv)将测试像素与第四像素进行比较。 | ||
申请公布号 | CN101236164B | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
申请号 | CN200710142877.4 | 申请日期 | 2007.07.31 |
申请人 | 以色列商·应用材料以色列公司 | 发明人 | 迈克尔·本-伊谢;奥赫·格弗泰泽 |
分类号 | G01N21/956(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/956(2006.01)I |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
主权项 | 一种用于缺陷检测的方法,所述方法包括:检索与目标的第一图像的测试像素相同位置的第二图像的第二像素;其中第一和第二图像使用不同的图像获得方法得到;搜索第二图像的第三像素,从而第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似;检索与第三像素相同位置的第一图像的第四像素;以及将测试像素与第四像素进行比较。 | ||
地址 | 以色列雷霍沃特 |