准分子灯

摘要

本发明提供一种即使长时间点灯时也把紫外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小、而且在放电容器的轴方向可得到均匀的照度分布的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其中，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒径的大小为上述氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上。紫外线反射膜中的氧化铝粒子的含有比率，优选是二氧化硅粒子和氧化铝粒子的合计的5wt％以上，更优选10wt％以上。

主权项

一种准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其特征在于，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜中的氧化铝粒子的含有比率，是上述二氧化硅粒子和氧化铝粒子的合计的5wt％以上，上述二氧化硅粒子的中心粒径的大小为上述氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上。