服务器装置、信息处理方法

摘要

本发明提供一种服务器装置，在进行了配方内容的变更的情况下，进行该变更相关的注意唤起。服务器装置(20)具备：至少存储有在制造装置中所使用的配方的配方存储部(24)；在制造装置的配方内容被变更的情况下接收变更后的配方的配方接收部(23)；将配方接收部(23)接收到的配方保存在配方存储部(24)中的配方保存部(25)；构成配方内容的变更相关的信息即变更信息的变更信息构成部(27)；存储表示变更信息的发送目的地的信息即发送目的地信息的发送目的地信息存储部(28)；从发送目的地信息存储部(28)取得发送目的地信息的发送目的地信息取得部(29)；向发送目的地信息取得部(29)所取得的发送目的地信息所表示的发送目的地，发送变更信息构成部(27)所构成的变更信息的变更信息发送部(30)。

主权项

一种服务器装置，其构成群管理系统，该群管理系统具备一个以上对待处理基板进行规定的半导体处理的制造装置、与该一个以上的制造装置连接的服务器装置，该服务器装置具备：配方存储部，其至少存储有在所述一个以上的制造装置中被使用的配方；配方接收部，其在所述制造装置的配方内容被变更的情况下，接收变更后的配方；配方保存部，其将所述配方接收部接收到的配方保存在所述配方存储部中；变更信息构成部，其构成配方内容的变更相关的信息即变更信息；发送目的地信息存储部，其存储表示所述变更信息的发送目的地的信息即发送目的地信息；发送目的地信息取得部，其从所述发送目的地信息存储部中取得发送目的地信息；变更信息发送部，其向所述发送目的地信息取得部取得的发送目的地信息所表示的发送目的地，发送由所述变更信息构成部构成的变更信息；以及判断部，判断是否发送所述变更信息，所述变更信息发送部还根据所述判断部的判断结果来发送所述变更信息，所述判断部对所述配方接收部接收到的最新的配方，在规定的条件得到满足的情况下，判断为发送变更信息，所述规定的条件是对所述配方接收部接收到的最新的配方，在规定的期间以上未进行变更，在配方管理信息中，保持有表示配方未被变更地使用的期间的连续 使用期间，所述判断部通过判断该连续使用期间是否为所述规定的期间以上，来判断在配方内容的变更前是否在所述规定的期间以上未进行变更。