| 发明名称 | 生产线设备的加热控制方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种生产线设备的加热控制方法，包括：获取腔室内的压力值；若所述腔室内压力值在预置压力值的范围内，则启动加热操作。本发明可以在不额外增加硬件的基础上，消除加热单元启动时的打火现象，从而降低成本，提高生产线设备的易用能力。 | ||
| 申请公布号 | CN101748393B | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN200910241956.X | 申请日期 | 2009.12.16 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 付金生;杨洋 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人 | 苏培华 |
| 主权项 | 一种生产线设备的加热控制方法，其特征在于，包括：获取腔室内的压力值，所述腔室为预热腔；若所述预热腔内压力值在预置压力值的范围内，则启动加热操作，其中，所述预置压力值的范围是基于帕邢定律得出，通过控制腔室内的压力以提高间隙击穿电压，并在压力控制在所述预置压力值的范围内时启动所述加热操作；所述预置压力值的范围在100V供电时的下限值为100Pa，上限值为1000Pa；或者，所述预置压力值的范围在220V供电时的下限值为200Pa，上限值为1000Pa；或者，所述预置压力值的范围在380V供电时的下限值为500Pa，上限值为1000Pa。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 | ||