| 发明名称 | 节省电子器件制造资源的方法与装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种操作电子器件制造系统的方法，包括以下步骤：当处理工具在处理模式下进行操作时，将惰性气体以第一流率引入处理工具真空泵中；以及，当处理工具在清洁模式下进行操作时，将惰性气体以第二流率引入处理工具真空泵中。本发明亦提供了多个其它实施例。 | ||
| 申请公布号 | CN101981653B | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN200980110628.4 | 申请日期 | 2009.03.24 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 丹尼尔·O·克拉克;菲尔·钱德勒;杰伊·J·俊 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷;南霆 |
| 主权项 | 一种操作电子器件制造系统的方法，包括以下步骤：当处理工具在处理模式下进行操作时，将惰性气体以第一流率引入处理工具真空泵中；以及当所述处理工具在清洁模式下进行操作时，将所述惰性气体以第二流率引入所述处理工具真空泵中。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||