发明名称 METHOD FOR MEASURING LAYER THICKNESS BY MEANS OF LASER TRIANGULATION, AND DEVICE
摘要
申请公布号 KR20120098632(A) 申请公布日期 2012.09.05
申请号 KR20127009905 申请日期 2010.06.21
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MELZER JOKISCH TORSTEN;OPPERT ANDREAS;THOMAIDIS DIMITRIOS
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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