发明名称 |
存储装置、其制造方法与操作方法 |
摘要 |
本发明公开一种存储装置、其制造方法与操作方法。存储装置包括基底、堆叠结构、沟道元件、介电元件、源极元件与位线。堆叠结构配置于基底上。堆叠结构各包括串列选择线、字线、接地选择线与绝缘线。串列选择线、字线与接地选择线通过绝缘线互相分开。沟道元件配置于堆叠结构之间。介电元件配置于沟道元件与堆叠结构之间。源极元件配置于基底的上表面与沟道元件的下表面之间。位线配置于沟道元件的上表面上。 |
申请公布号 |
CN102655152A |
申请公布日期 |
2012.09.05 |
申请号 |
CN201110053420.2 |
申请日期 |
2011.03.04 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
吕函庭;陈士弘 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;G11C16/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
一种存储装置,包括:基底;多个堆叠结构,配置于该基底上,其中该多个堆叠结构各包括串列选择线、字线、接地选择线与绝缘线,该串列选择线、该字线与该接地选择线通过该绝缘线互相分开;沟道元件,配置于该多个堆叠结构之间;介电元件,配置于该沟道元件与该堆叠结构之间;源极元件,配置于该基底的上表面与该沟道元件的下表面之间;以及位线,配置于该沟道元件的上表面上。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |