用于固态照明装置的氮化镓晶片衬底以及相关联系统及方法

摘要

本发明涉及用于固态照明装置的氮化镓晶片衬底以及相关联系统及方法。根据本发明的一个实施例，一种用于制作SSL装置衬底的方法包含形成由支撑部件承载的多个晶体，其中所述晶体具有经选择以促进氮化镓的形成的定向。所述方法可进一步包含形成由所述晶体承载的一定体积的氮化镓，其中所述晶体的所述选定定向至少部分地控制所述氮化镓的晶体定向，且不将所述氮化镓作为一单元接合到所述支撑部件。在其它实施例中，可通过包含将其中存在所述晶体的区域退火、蚀刻所述区域以移除具有除所述选定定向以外的定向的晶体及/或生长具有所述选定定向的所述晶体的工艺来增加晶体的数目。

主权项

一种制作SSL装置衬底的方法，其包括：在支撑衬底上生长中间结构；将籽晶材料安置于所述中间结构上；在所述籽晶材料上形成硅区域，所述区域具有具有(111)定向的晶体的群体；将所述硅区域退火以增加具有所述(111)定向的晶体的所述群体；蚀刻所述硅区域以移除具有除(111)以外的定向的晶体；生长具有所述(111)定向的所述晶体；及将氮化镓安置于具有所述(111)定向的所述晶体上方。