双坩埚电子枪

摘要

本实用新型公开一种双坩埚电子枪，包括热源、两个旋转坩埚、底板、水冷机构和驱动机构，两个旋转坩埚分别设于热源的两侧，热源底部与水冷机构连接，底板设于热源和两个旋转坩埚下方，水冷机构下方与驱动机构连接。本双坩埚电子枪通过设置两个旋转坩埚，通过电源的调节，使其电子束可同时实现270°和180°的偏转角度，以适应不同镀膜要求的工件，有效提高其镀膜效率。同时，本双坩埚电子枪结构简单，操作方便，应用于不同镀膜要求的工件时，只要调节电源，而不需要更换整个电子枪，操作简单，也可有效提高效率。

主权项

双坩埚电子枪，其特征在于，包括热源、两个旋转坩埚、底板、水冷机构和驱动机构，两个旋转坩埚分别设于热源的两侧，热源底部与水冷机构连接，底板设于热源和两个旋转坩埚下方，水冷机构下方与驱动机构连接。