使用涡轮泵的宽范围压力控制

摘要

本发明是用于控制真空工艺腔内工艺流率和压力的装置和方法，该真空工艺腔由涡轮分子泵抽空。控制泵和工艺腔之间的节流阀以调节压力和流率。还控制泵下游的前级阀以将节流阀的设定维持在较佳的稳定运行范围内。

主权项

一种用于从真空腔的排气口排气以维持所述腔内工艺压力和工艺流率的装置，所述装置包括：压力传感器，所述压力传感器用于测量所述真空腔内压力；节流阀，所述节流阀与所述真空腔的所述排气口连通以调节来自所述排气口的流量；高真空泵，所述高真空泵具有泵入口和前级端口，所述泵入口与所述节流阀连通；前级阀，所述前级阀与所述泵前级端口连通，用于调节来自所述前级端口的流量；以及至少一个控制器，所述控制器用于根据来自所述压力传感器的测量值来调节所述节流阀和所述前级阀的开度大小，以维持所述腔内的所述工艺压力。