一种阻抗匹配器及等离子体处理设备

摘要

本发明提供一种阻抗匹配器，设置在射频发生器和电感耦合线圈之间，包括输入端、阻抗检测单元、电流检测单元、控制单元、调节单元和至少两个输出端。其中，调节单元包括可变阻抗元件和相应的执行机构，控制单元根据阻抗检测单元和电流检测单元所检测的数据指示执行机构对可调阻抗元件的阻抗值进行调节，能够调整各输出端所对应的电流，并实现射频发生器输出阻抗和阻抗匹配器输入阻抗之间的匹配。此外，本发明还提供一种应用上述阻抗匹配器的等离子体处理设备。本发明提供的阻抗匹配器及等离子体处理设备能够在有效进行阻抗匹配的同时，对流经电感耦合线圈的射频电流进行调节，以提高工艺腔室内等离子体密度的分布均匀性。

主权项

一种阻抗匹配器，设置在射频发生器和电感耦合线圈之间，其特征在于，所述阻抗匹配器包括输入端、阻抗检测单元、电流检测单元、控制单元、调节单元和至少两个输出端，其中所述输入端连接射频发生器，用以将来自所述射频发生器的射频功率引入阻抗匹配器；每一个所述输出端分别连接所述电感耦合线圈，用以将射频功率从阻抗匹配器引出至所述电感耦合线圈；所述阻抗检测单元用于检测阻抗匹配器的输入阻抗，并将检测得到的阻抗匹配器的实际输入阻抗值传输至所述控制单元；所述电流检测单元用于检测所述每一个输出端所对应的电流，并将检测得到的各输出端所对应的实际电流值传输至所述控制单元；所述控制单元执行下述操作：根据所述阻抗匹配器的实际输入阻抗值和射频发生器的输出阻抗而产生第一控制信号，并将所述第一控制信号传输至调节单元；以及根据每一个输出端所对应的实际电流值和每一个输出端期望的电流值而产生第二控制信号，并将所述第二控制信号传输至所述调节单元；所述调节单元包括可调阻抗元件以及用以带动可调阻抗元件的调节端移动以实现阻抗值变化的驱动机构，所述驱动机构根据所述第一控制信号和/或第二控制信号而改变与之相连的可调阻抗元件的阻抗值，以调整各输出端所对应的电流，并实现射频发生器输出阻抗和阻抗匹配器输入阻抗之间的匹配。