发明名称 |
多级高精度微位移传感器探头 |
摘要 |
一种多级高精度微位移传感器探头,其中包括:一光纤束;一光纤束固定保护金属套,该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体,在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔,所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。 |
申请公布号 |
CN102175159B |
申请公布日期 |
2012.09.05 |
申请号 |
CN201110025009.4 |
申请日期 |
2011.01.24 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
王欣;谢亮;鞠昱;刘宇;漆晓琼;孙可;满江伟;袁海庆;祝宁华 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种多级高精度微位移传感器探头,其中包括:一光纤束,该光纤束是由多根不同芯径或不同光场分布的光纤组成,其中光纤束中的光纤采用石英光纤或采用塑料光纤;该光纤束的一端抛磨形成传感端面,光纤束的另一端的每根光纤有独立的连接器,连接器是FC型或SC型或LC型连接器,通过连接器与传感器系统中信号发射器和信号接收器任意连接,形成多种组合形式,以探测不同距离区间;一光纤束固定保护金属套,该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体,在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔,所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |