拉伸孔眼掩模和安装的方法

摘要

一种准备和使用孔眼掩模的方法，将孔眼掩模的温度升高到第一安装温度(T1)，从而使孔眼掩模的尺寸根据其热膨胀系数(CTEam)增大，直到其至少一个尺寸为第一理想范围。也将框架的温度增加到T1，从而使框架的大小根据其低于CTEam的热膨胀系数(CTEf)长大。在温度T1将孔眼掩模固定安装在框架上。随后安装有框架的孔眼掩模用于在低于T1的温度T2下将材料沉积到基底上，因此框架将影孔掩模保持为拉伸，有一个尺寸在第二理想范围。

主权项

一种准备和使用孔眼掩模的方法，包括：(a)使孔眼掩模的温度升高到安装温度T1，从而使孔眼掩模的尺寸根据其热膨胀系数CTEam增大，直到其至少一个尺寸为理想的范围；(b)将框架的温度升高到安装温度T1，从而使框架的大小根据其低于CTEam的热膨胀系数CTEf长大；(c)在安装温度T1将孔眼掩模固定安装在框架上；以及(d)使得安装有框架的孔眼掩模的温度从安装温度T1降低，因此CTEf和CTEam之间的差别使得框架在多于一个的尺寸上保持孔眼掩模被拉伸，并且不会使孔眼掩模变形，其中：安装温度T1确定为在使用中孔眼掩模的CTEam和沉积温度T2相结合的函数；并且T1＝T2+((Xt‑Xa)/((Xt)(CTEam))+((CTEf(T1‑T2))/CTEam)，其中：Xt＝孔眼掩模在安装温度T1下的目标尺寸；并且Xa＝孔眼掩模在低于沉积温度T2的初始温度T0下的实际测量尺寸。