混合气体注射器

摘要

本发明公开了一种气体注射器，用于将生产用气体注入井式炉中支撑多个晶片的塔与管形内衬之间的空间内，包括：管形杆，其具有开口远端及沿第一轴延伸的第一孔并由第一单一材料构成，该单一材料选自由硅、石英及碳化硅组成的组；及连接器，其可分离地连接至杆部，且其由不同于第一材料的第二材料构成并且包括供应管，供应管具有沿与第一轴垂直的第二轴延伸并与第一孔流体连通的第二孔，及具有可连接到气体源管线的远端。

主权项

一种气体注射器，用于将生产用气体注入井式炉中支撑多个晶片的塔与管形内衬之间的热区内，所述气体注射器包括：管形杆，具有沿其第一轴从第一远端延伸到第一近端的第一孔，所述管形杆由选自硅、石英及碳化硅中的至少一种的第一材料制成；及可分离地连接到所述管形杆并与其流体连通的连接器，所述连接器由不同于第一材料的第二材料制成，所述连接器包括供应管，所述供应管具有沿其第二轴延伸的第二孔，第二轴与第一轴垂直，所述连接器构造并安排成：(i)在供应管的第二远端处接收来自气体源管线的生产用气体；及(ii)在供应管的第二近端处将生产用气体传输给管形杆的第一近端。