| 发明名称 | 热处理装置及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种热处理装置及其控制方法，在温度稳定时能够均匀地维持温度，在升温和降温时能够容易地控制。控制装置(51)能够利用控制区域的数量多的多控制区域模式(72a)以及控制区域的数量少的少控制区域模式(72b)，控制区域被分别控制。在升温和降温时利用少控制区域模式(72b)，根据来自数量少的控制区域(C1、…C5)的温度传感器(50)的信号来分别控制设置于各控制区域(C1、…C5)内的加热器(18A)。在温度稳定时利用多控制区域模式(72a)，根据来自数量多的控制区域(C1、…C10)的温度传感器(50)的信号来分别控制设置于各控制区域(C1、…C10)内的加热器(18A)。 | ||
| 申请公布号 | CN102655104A | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN201210052120.7 | 申请日期 | 2012.03.01 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 吉井弘治;山口达也;王文凌;斋藤孝规 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 一种热处理装置，其特征在于，具备：炉主体；处理容器，其配置在上述炉主体内，在该处理容器与上述炉主体之间形成包括多个单位区域的空间，并且在该处理容器的内部收纳多个被处理体；加热部，其以与空间的各单位区域相对应的方式被设置在上述炉主体的内面；炉内温度传感器，其被设置为与空间的各单位区域相对应；以及控制装置，其根据来自与各单位区域相对应的炉内温度传感器的信号来控制与各单位区域相对应的加热部，其中，上述控制装置具有控制区域的数量多的多控制区域模式以及控制区域的数量少的少控制区域模式，该控制区域由单位区域形成并且该控制区域被分别控制，上述控制装置在升温和降温时利用控制区域的数量少的少控制区域模式来控制与各控制区域相对应的加热部，在温度稳定时利用控制区域的数量多的多控制区域模式来控制与各控制区域相对应的加热部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||