| 发明名称 | 单晶圆干燥装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶圆干燥装置，包括：工艺腔体(7)和设置在所述工艺腔体(7)中的晶圆支撑(20)，还包括：一端连接于所述工艺腔体(7)外壁上的进气管(6)和连接在所述进气管(6)上的第一氮气输入管路(3)，所述进气管(6)的另一端与用于装载异丙酮的蒸汽腔体(2)连接，所述蒸汽腔体(2)内设有加热装置(1)，所述蒸汽腔体(2)出口和所述第一氮气输入管路(3)内均设有气体质量流量计，通过各个部件之间的配合，避免了干燥过程中产生水痕导致产品缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN102148133B | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN201010582195.7 | 申请日期 | 2010.12.06 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 张晓红;吴仪;赵宏宇;王锐廷 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;F26B3/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种单晶圆干燥装置，包括：工艺腔体(7)和设置在所述工艺腔体(7)中的晶圆支撑(20)，其特征在于，还包括：一端连接于所述工艺腔体(7)外壁上的进气管(6)和连接在所述进气管(6)上的第一氮气输入管路(3)，所述进气管(6)的另一端与用于装载异丙酮的蒸汽腔体(2)连接，所述蒸汽腔体(2)内设有加热装置(1)，所述蒸汽腔体(2)出口和所述第一氮气输入管路(3)内均设有气体质量流量计；其中，所述工艺腔体(7)内设有异丙酮冷却盘管(10)，并在所述工艺腔体(7)内低于所述异丙酮冷却盘管(10)处设有异丙酮回收盘(9)，所述异丙酮回收盘(9)底端设有异丙酮回收管(14)；所述装置还包括工艺液体输入管(11)，所述工艺液体输入管(11)伸入所述工艺腔体(7)内，所述工艺腔体(7)内所述异丙酮回收盘(9)和所述晶圆支撑(20)之间设有工艺液体回收盘(8)，所述工艺液体回收盘(8)底端设有工艺液体回收管(15)。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层 | ||