太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置

摘要

本发明涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置，包括开卷机组(10)，其主要特点设置的真空镀膜室包括有A低真空室(20a、20b)，离子处理室(30)，B低真空室(40)，高真空室(50)，5个真空镀膜室(60)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；A低真空室(20a、20b)、离子处理室(30)、B低真空室(40)、高真空室(50)、真空镀膜室(60)与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。这种装置的优点在于：可在金属薄板带上镀多层膜、反应膜，膜层厚度可独立进行控制，膜层均匀致密，附着力强适合工业化生产。

主权项

一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置，包括开卷机组(10)，其特征在于设置的真空镀膜室包括有A低真空室(20a、20b)，离子处理室(30)，B低真空室(40)，高真空室(50)，5个真空镀膜室(60)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；A低真空室(20a、20b)、离子处理室(30)、B低真空室(40)、高真空室(50)、各真空镀膜室与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)；所述的A低真空室(20a、20b)包括有室体(20‑1)，其内设有隔板(20‑1‑1)将室体(20‑1)分隔成2‑6个真空室；隔板(20‑1‑1)上设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；在室体(20‑1)的入口处或出口处或室体(20‑1)中部隔板的窗口(2)处设有密封输送辊装置(20‑2)，动力驱动机构(20‑3)设于密封输送辊装置(20‑2)上；室体(20‑1)的上部设有上盖(20‑4)，其间设有上盖密封装置(20‑6)，下部设有机架(20‑5)；室体连接处设有密封装置(20‑7)；室体(20‑1)内与滑阀泵机组(90‑1、90‑2)、罗茨泵(90‑3)相连通；A低真空室(20a、20b)的真空度为300Pa‑2000Pa；所述的密封输送辊装置(20‑2)包括相互平行的两个橡胶辊(20‑2‑3)支撑于两端的轴承座(20‑2‑5)上，传动齿轮(20‑2‑1)分别设于两个橡胶辊(20‑2‑3)的两端，在橡胶辊(20‑2‑3)轴的一端连接有动力驱动机构(20‑3)；在橡胶辊(20‑2‑3)轴的两端设有弹簧(20‑2‑2)，密封板(20‑2‑4)设于橡胶辊(20‑2‑3)上；在金属薄板带(1)通过的窗口(2)的两侧设有通过密封垫(20‑2‑6)与室体连接的联结座(20‑2‑7)，其上设有弹簧片(20‑2‑8)，将塑料板(20‑2‑9)压紧在两个橡胶辊(20‑2‑3)上。