微机电系统和头万向节组件

摘要

本发明提供一种微机电系统和头万向节组件。在本发明一实施例中，用于滑块动力学电力测试的悬架包括用于支承头滑块的微机电系统。该微机电系统具有用于保持头滑块的夹具，被外力移动的夹具能附接或拆卸头滑块。该悬架包括限制器以用于限制夹具的横向移动。限制器限制夹具的不期望移动，这防止了夹具在附接头滑块时横向移动、与磁盘接触导致的头滑块的脱落以及微机电系统的损伤、以及操纵时头滑块的脱落和微机电系统的损伤。

主权项

一种微机电系统，头滑块可拆卸地附接到所述微机电系统上，所述微机电系统包括：连接端子，用于接触所述头滑块的连接焊盘；夹具，用于将所述头滑块压向所述连接端子；夹弹簧，用于连接所述夹具以产生夹紧力；以及限制器，用于接触所述夹具从而限制所述夹具在平面内垂直于所述夹紧力的两个方向上移动。