介质隔离的静电致动阀

摘要

一种阀结构，具有顶部件、柔性的介质输送机构比如管子、膜片和具有对管子的支撑的底部件。膜片的顶表面和顶部件的底表面有附加的电极。当没有在电极上施加电势时，膜片停留在原处且关闭柔性管中的通道，以有效地防止流体流动。当在电极上施加电势时，膜片上升离开管子从而打开或部分打开管子中的通道，以使介质流动或传输压力。部分的打开是出于调节的目的。拉力机构附加到膜片上。控制器向电极施加电势用于至少部分地打开或关闭阀。

主权项

一种静电阀，包括：底部结构；位于所述底部结构上的顶部结构；位于所述底部结构和所述顶部结构之间的膜片；位于所述底部结构和所述膜片之间的具有均匀横截面的可挤压的输送结构；附加到所述膜片上的第一导体；以及附加到所述顶部结构上的第二导体，其中所述可挤压的输送结构是在焊缝(35)处模制在一起的两层柔性材料层所形成的管。