发明名称 复合纳米半导体Cl<sub>2</sub>敏感材料In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>/Pt的制备方法
摘要 复合纳米半导体Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt的制备方法,它涉及一种Cl2敏感材料的合成方法。本发明解决了现有方法制作得到的敏感材料敏感性差,使得Cl2传感器普遍存在着功耗高,体积大,只能进行低浓度检测的问题。方法:一、原料混合得到共沉积混合物;二、离心、抽滤、干燥;三、制作In2O3/Nb2O5纳米粉体;四、制作Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt。本发明得到复合纳米半导体材料In2O3/Nb2O5/Pt对Cl2敏感性好,使用本发明制备的Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt的Cl2传感器能检测Cl2的量程为0~500ppm,且功耗低,体积小。
申请公布号 CN101769888B 申请公布日期 2012.09.05
申请号 CN201010032466.1 申请日期 2010.01.14
申请人 哈尔滨理工大学;哈尔滨源创微纳科技开发有限公司 发明人 施云波;赵文杰;周真;修德斌;冯侨华;何梦资
分类号 G01N27/12(2006.01)I 主分类号 G01N27/12(2006.01)I
代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人 荣玲
主权项 复合纳米半导体Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt的制备方法,其特征在于复合纳米半导体Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt的制备方法按照以下步骤进行:一、按照18∶1的摩尔比称取InCl3·4H2O和Nb2O5,先称取的InCl3完全溶解于去离子水中得到InCl3溶液,称取的Nb2O5加入到体积浓度为18~22%的HNO3中,过滤后与InCl3溶液进行搅拌混合,再加入质量浓度为22%~28%的NaOH调节混合物的pH值至7.8~8.2,然后在48~52℃条件下搅拌4.8~5.2h,即得到共沉积混合物,其中InCl3·4H2O与去离子水的质量比为2.93∶500,Nb2O5与HNO3的质量比为1∶3;二、共沉积混合物在转速为3000~5000r/min的条件下离心20~30min,去上清液,然后用去离子水清洗离心得到的沉淀物至pH值为7,然后进行抽滤,抽滤后的沉淀物在115~125℃条件下真空干燥4~5h;三、将步骤二干燥后的产物在600℃~700℃条件下烧结2~3h,然后进行研磨,研磨时间为60~90min,即得到In2O3/Nb2O5纳米粉体;四、向In2O3/Nb2O5纳米粉体中加入重量百分比浓度为3%~5%的H2PtCl6混合,然后再加入松油醇调成浆状物,In2O3/Nb2O5纳米粉体、H2PtCl6和松油醇的质量比为100∶4∶10,浆状物经过丝网印刷、涂膜于电极上,在室温条件干燥22~26h,然后在500~700℃条件下烧结2~3h,即得到了复合纳米半导体Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt。
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