镀制造型物制造用正型感放射线性树脂组合物、转印膜以及镀制造型物的制造方法

摘要

本发明涉及的镀制造型物制造用正型感放射线性树脂组合物的特征在于，它含有，(A)具有结构单元和交联结构的聚合物，所述结构单元具有经酸解离生成酸性官能团的酸解离性官能团，(B)感放射线性产酸剂，以及(C)有机溶剂。该正型感放射线性树脂组合物感度和清晰度优良，同时，与基板的粘合性优良、显像后在开口部不出现残渣、可抑制镀后的树脂膜出现破裂，且可以抑制镀层向树脂膜的挤扩。

主权项

1.镀制造型物制造用正型感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有(A)至少由引导入具有酸解离性官能团的结构单元的单体与具有2个以上乙烯性不饱和双键的单体反应获得的聚合物；(B)感放射线性产酸剂；以及(C)有机溶剂；上述聚合物(A)的具有酸解离性官能团的结构单元如下式(3)所示，式(3)中，R⁴为氢原子或甲基，R⁵～R⁷分别独立地表示碳原子数1～4的烷基、碳原子数4～20的脂环式烃基、芳基或者将这些基团中至少一个氢原子取代成烃基以外的极性基的取代烃基，当R⁵～R⁷中任意2个是烷基或取代烷基时，其烷基链可以相互结合形成碳原子数4～20的脂环式烃基或取代脂环式烃基。