微型二维离子迁移谱仪

摘要

本发明公开了一种微型二维离子迁移谱仪，由二维离子迁移管、离化源、电路和气路组成，二维离子迁移管将吸气式离子迁移管和高场不对称波形离子迁移管集成于三片镀有电极相互平行且与两对支撑梁构成两个矩形气流通道的基板，电路在二维离子迁移管内产生直流牵引电压、高频分离电压、低频扫描电压和检测电压，样品载气在离化源作用下产生离子流，离子流进入吸气式离子迁移管内受直流牵引电压和气流共同作用实现初步分离，到达高场不对称波形离子迁移管内受高频分离电压和低频扫描电压作用下再次分离，最终在检测电压作用下产生电流被检测。本发明采用的二维分离检测方式实现了离子迁移谱仪微型化和高分辨能力的统一。

主权项

微型二维离子迁移谱仪，包括离化源(23)、气路、电路和二维离子迁移管，所述的二维离子迁移管是由两对相互平行的支撑梁即上支撑梁(29)和下支撑梁(30)支撑的三片镀有电极的相互平行的基板组成，所述的基板分别是第一基板(3)、第二基板(16)和第三基板(19)，所述的第一基板(3)置有吸气分离上电极(6)、高场分离上电极(9)和检测上电极(12)，所述的第二基板(16)置有高场分离下电极(10)、检测下电极(13)和吸气分离小孔(21)，所述的第三基板(19)置有吸气分离下电极(20)和吸气分离地电极(22)，第二基板(16)位于第一基板(3)和第三基板(19)中间，第一基板(3)、第二基板(16)和第三基板(19)由两对相互平行的支撑梁即上支撑梁(29)和下支撑梁(30)支撑构成两个矩形气流通道，分别称为第一气流通道(28)和第二气流通道(27)，所述的第一气流通道(28)由第一基板(3)、第二基板(16)和上支撑梁(29)组成，两端分别为靠近吸气分离上电极(6)的上进气口(2)和靠近检测上电极(12)的上出气口(14)，其间的气体流动动力由连接上出气口(14)的第一微气泵(15)产生，所述的第二气流通道(27)由第二基板(16)、第三基板(19)和下支撑梁(30)组成，两端分别为靠近吸气分离地电极(22)的下进气口(24)和靠近检测下电极(13)的下出气口(18)，其间的气体流动动力由连接下出气口(18)的第二微气泵(17)产生，吸气分离上电极(6)、吸气分离下电极(20)、吸气分离地电极(22)、吸气分离小孔(21)及其间的气流通道构成吸气式离子迁移管(4)，高场分离上电极(9)和高场分离下电极(10)及其间的气流通道构成高场不对称波形离子迁移管(7)。