基于光纤探针的脉冲激光模拟单粒子效应实验系统

摘要

本发明公开了一种基于光纤探针的脉冲激光模拟单粒子效应实验系统，目的是减小脉冲激光的束斑直径，实现深亚微米集成电路中单个器件或局部电路单粒子效应的模拟。该系统由脉冲激光器、光纤探针和探针台组成，光纤探针锥尖孔径为10nm至1um之间；光纤探针的输入端连接脉冲激光器，光纤探针靠近输出端的光纤固定在探针台的探针夹中，光纤探针的输出端接触被测集成电路芯片的被测位置，光纤探针将脉冲激光从输入端传输到输出端；被测集成电路芯片采取安装在单粒子效应检测电路板中或不安装在单粒子效应检测电路板中两种方式。采用本发明能输出束斑直径小于等于1um的脉冲激光，实现深亚微米集成电路中单个器件或局部电路的单粒子效应模拟，且降低了成本。

主权项

一种基于光纤探针的脉冲激光模拟单粒子效应实验系统，其特征在于该系统由脉冲激光器(8)、光纤探针(7)和探针台(3)组成，脉冲激光器(8)产生脉冲激光，并使脉冲激光耦合进入光纤探针(7)，脉冲激光器(8)产生的单个激光脉冲波长在500nm至2000nm之间，单个激光脉冲能量在1pJ至1uJ之间，单个激光脉冲长度在1fs至100ns之间；光纤探针(7)的输出端为锥形，锥尖孔径为10nm至1um之间；光纤探针(7)的输入端连接脉冲激光器(8)，光纤探针(7)靠近输出端的一段光纤固定在探针台(3)的探针夹(6)中，光纤探针(7)的输出端接触被测集成电路芯片(1)的被测位置，光纤探针(7)将脉冲激光器(8)产生的脉冲激光从光纤探针(7)的输入端传输到光纤探针(7)的输出端；被测集成电路芯片(1)采取安装在单粒子效应检测电路板(9)中或不安装在单粒子效应检测电路板(9)中两种方式：如果被测集成电路芯片(1)没有安装在单粒子效应检测电路板(9)中，则被测集成电路芯片(1)固定在探针台(3)的样品托板(4)上，探针台(3)的多根电学探针(5)分别固定在探针台(3)的多个探针夹(6)中，各电学探针(5)的尖端分别接触被测集成电路芯片(1)的各输入输出接口，各探针夹(6)的导线连接单粒子效应检测系统(2)；如果被测集成电路芯片(1)安装在单粒子效应检测电路板(9)中，则单粒子效应检测电路板(9)直接固定在探针台(3)的样品托板(4)上，单粒子效应检测电路板(9)的导线连接单粒子效应检测系统(2)。