电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置

摘要

本发明涉及一种电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置，复杂可编程逻辑器件分别与串口通信等电路连接，串口通信电路与工控机连接，两路同步波形发生电路由数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路组成，两路功率放大电路与电磁偏转线圈连接；时钟电路经过复杂可编程逻辑器件分频，产生多种频率的时钟分别用于串口通信、采集卡控制和频率可变的波形发生；工控机经过串口通信电路控制复杂可编程逻辑器件，在时钟电路的触发下，复杂可编程逻辑器件产生两路波形的数字量，放大后的信号驱动电磁偏转线圈产生磁场使电子束偏转扫描。本发明使电子束偏摆扫描的控制精度高，而且数字电路可以极大的提高装置的抗干扰能力。

主权项

一种电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置，其特征在于：由复杂可编程逻辑器件、串口通信电路、时钟电路、复位电路、电源电路、数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路构成，复杂可编程逻辑器件分别与串口通信电路、时钟电路、复位电路、电源电路、两路同步波形发生电路连接，串口通信电路与工控机连接，两路同步波形发生电路由数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路组成，两路功率放大电路与电磁偏转线圈连接；时钟电路经过复杂可编程逻辑器件分频，产生多种频率的时钟分别用于串口通信、采集卡控制和频率可变的波形发生；工控机经过串口通信电路控制复杂可编程逻辑器件，在时钟电路的触发下，复杂可编程逻辑器件产生两路波形的数字量，经过数模转换电路输出模拟波形，低通滤波电路滤除模拟波形中的高次谐波，滤波后的信号经过光电隔离电路输入功率放大电路，放大后的信号驱动电磁偏转线圈产生磁场使电子束偏转扫描。