旋转清洗装置和加工装置

摘要

本发明提供一种旋转清洗装置和加工装置，其能充分地实现雾的防泄漏以及排气，并防止雾对加工装置具有的其它设备或部件造成的不良影响。关于旋转清洗装置(1)，将晶片(工件)(W)保持在设置于壳体(20)内的清洗室(21)中的旋转工作台(30)上，利用挡板(25)关闭壳体上方的开口，在使清洗室密闭了的状态下，使旋转工作台旋转，从清洗液供给喷嘴(50)向旋转的晶片的上表面供给清洗液来进行清洗，在该旋转清洗装置(1)中，鼓风机(70)配置在清洗室内的比旋转工作台的保持面(30A)靠上方的位置，从该鼓风机向下方且向沿着旋转工作台的旋转方向的方向喷出空气，来向下方压住产生的雾，并将雾从连接在壳体的下部的排气管(60)排出到外部。

主权项

一种旋转清洗装置，其特征在于，上述旋转清洗装置至少包括：旋转工作台，其设置成能够旋转，并具有保持工件的保持面；清洗液供给喷嘴，其向保持在上述旋转工作台上的工件供给清洗液；围绕部件，其围绕着上述旋转工作台形成清洗室；开闭构件，其设置在上述围绕部件上，用于对上述清洗室进行开闭；排气构件，其配设在上述清洗室内的、将上述保持面夹在该排气构件与上述开闭构件之间的位置，用于对该清洗室进行排气；和鼓风构件，其配设在上述清洗室内，用于对上述保持面与上述开闭构件之间的空间向上述排气构件方向喷出空气，上述开闭构件配设在上述保持面的上方，上述排气构件配设在上述保持面的下方，从上述鼓风构件喷出的空气的喷出方向设定为比水平方向朝向下方，上述鼓风构件的喷出方向和上述排气构件的排气方向设定为沿着上述旋转工作台的旋转方向的方向。