红外线分析装置

摘要

本发明提供一种红外线分析装置，其使用红外光分析检查对象物的特性，具有：第1测头，其具有多个光源和多边形状的光学元件，上述光源配置在上述检查对象物的一侧，出射应向上述检查对象物照射的波长不同的红外光，上述光学元件配置在该光源和上述检查对象物之间，使从上述多个光源出射的各种红外光多重反射，从而使强度分布均匀化；以及第2测头，其具有检测器，上述检测器配置在上述检查对象物的另一侧，检测经由上述检查对象物的红外光。

主权项

一种红外线分析装置，其使用红外光分析检查对象物的特性，其特征在于，具有：第1测头，其具有多个光源和多边形的光学元件，上述光源配置在上述检查对象物的一侧，出射应照射到上述检查对象物上的波长不同的红外光，上述光学元件配置在该光源和上述检查对象物之间，使从上述多个光源出射的各种红外光多重反射而使强度分布均匀化；以及第2测头，其具有检测器，该检测器配置在上述检查对象物的另一侧，检测经过了上述检查对象物的红外光。