测量对象和光学输入设备的二维相对运动的方法

摘要

一种用于测量对象(15)和传感器单元之间的相对运动的光学输入设备，包括：具有用于发射测量束(13、17)的激光腔的激光设备(3、5)；对应的辐射敏感检测器(4、6)，用于生成测量信号，其代表作为重新进入激光腔的测量束辐射的结果而导致的激光设备(3、5)操作中的变化。提供了传感器单元用于测量沿作用平面中的每个测量轴的相对运动，从一个或每个传感器单元结果得到的测量信号用于通过对测量信号的上升和下降斜坡的偏移频率进行求和来确定输入设备和对象(15)沿横穿作用平面的测量轴相对于彼此的距离和/或运动。

主权项

一种确定输入设备和对象(15)沿横穿作用平面的测量轴相对于彼此的运动和/或距离的方法，该方法包括步骤：向激光设备(3)提供已调制的驱动电流并且使用从所述激光设备(3)的激光腔发射的测量激光束(13)照射对象表面，所述测量激光束被对象表面反射和/或散射，并重新进入所述激光腔；生成代表激光腔操作中的变化的测量信号，所述变化归因于重新进入所述激光腔的测量束辐射和所述激光腔中的光波之间的干涉，并且代表了沿所述测量轴的所述运动，而且所述测量信号在其每个周期中都包括上升部分和下降部分，在所述部分上叠加了具有偏移频率的波动，该方法还包括：通过对所述测量信号的上升部分和下降部分的所述偏移频率进行求和来确定所述对象(15)和所述输入设备沿所述测量轴相对于彼此的距离和/或运动，并生成代表所述距离和/或运动的电信号。