感光性树脂层压体

摘要

本发明提供一种感光性树脂层压体，其具有如下特性：表现高分辨率和高附着力、抗蚀图案的侧壁无不稳、抗蚀图案的表面无凹陷、且显影后的折边极小，其中，该感光性树脂层压体在支撑薄膜剥离性上没有问题。使用一种感光性树脂层压体，其特征在于，该感光性树脂层压体在支撑薄膜上依次层压层厚为0.1μm以上10μm以下的中间层和感光性树脂层而成，其中，该中间层含有聚乙烯醇和特定的化合物。

主权项

一种感光性树脂层压体，其特征在于，该感光性树脂层压体按顺序含有支撑薄膜、以及该支撑薄膜上的层厚为0.1μm以上10μm以下的中间层、和感光性树脂层而成，其中，该中间层含有聚乙烯醇和选自下述通式(I)所示的化合物所组成的组中的1种以上化合物，R1‑O‑(CH2CH2O)n1‑R2            (I)R1和R2为H或CH3，这些可以相同、也可以不同，n1为3～25的整数，该感光性树脂层为由感光性树脂组合物形成的层，该感光性树脂组合物含有：(a)羧基含量以酸当量计为100～600、重均分子量为5000～500000的粘合剂用树脂：20～90质量％、(b)至少一种可光聚合的不饱和化合物：3～70质量％、(c)光聚合引发剂：0.1～20质量％。