双光束干涉透镜中心误差测量系统

摘要

双光束干涉透镜中心误差测量系统，包括：激光器、准直镜、起偏器、渥拉斯顿棱镜、透镜、分光镜、第一λ/4波片、参考反射镜、上可调反射镜、下可调反射镜、下固定反射镜、上固定反射镜、第二λ/4波片、检偏器、成像镜头、CCD相机、计算机及精密回转工作台。本发明能够同时对球面和轴对称非球面透镜前后表面中心误差进行测量，测量效率高，且操作简单。

主权项

双光束干涉透镜中心误差测量系统，其特征在于包括：激光器(1)、准直镜(2)、起偏器(3)、渥拉斯顿棱镜(4)、透镜(5)、分光镜(6)、第一λ/4波片(7)、参考反射镜(8)、上可调反射镜(9)、下可调反射镜(10)、下固定反射镜(11)、上固定反射镜(12)、第二λ/4波片(13)、检偏器(14)、成像镜头(15)、CCD相机(16)、计算机(17)及精密回转工作台(18)；激光器(1)发出的激光束经准直镜(2)扩束后，经起偏器(3)将出射激光束转变为线偏振光并入射到渥拉斯顿棱镜(4)上，渥拉斯顿棱镜(4)将入射激光分成具有一定夹角的两束偏振方向互相垂直的平面偏振光，该平面偏振光再经透镜(5)转变为两束平行光；上述两束平行光经分光镜(6)分为参考光束与测量光束，参考光束经第一λ/4波片(7)后，入射到参考反射镜(8)上，并被参考反射镜(8)反射，参考光束两次通过第一λ/4波片(7)后偏振方向改变90°；上测量光束经第二λ/4波片(13)后，通过上固定反射镜(12)水平入射到上可调反射镜(9)上，然后调整上可调反射镜(9)使得上测量光束垂直入射到被测透镜(19)的上表面并沿原路返回，上测量光束两次通过第二λ/4波片(13)后偏振方向改变90°，并与参考光束汇合并发生干涉；下测量光束经第二λ/4波片(13)后，通过下固定反射镜(11)水平入射到下可调反射镜(10)上，然后调整下可调反射镜(10)使得下测量光束垂直入射到被测透镜(19)的下表面并沿原路返回，下测量光束两次通过第二λ/4波片(13)后偏振方向改变90°，并与参考光束汇合并发生干涉，前述两组干涉光束经检偏器(14)后分别得到两组干涉条纹，再经过成像镜头(15)成像后，干涉条纹被CCD相机(16)接收，然后转动精密回转工作台(18)，通过观察计算机(17)显示和记录的干涉条纹的变化，计算得出透镜前后表面中心误差的测量结果。