测定装置及方法、处理装置及方法、图案形成装置及方法、曝光装置及方法、以及元件制造方法

摘要

可通过测量值的短期稳定性良好的编码器系统(39X1，39X2，39Y1，39Y2，62B，62D，62A，62D)来在不受空气晃动等的影响的情况下以高精度测量移动体(WTB)在平面内的位置信息，且能通过面位置测量系统(74，76)来在不受空气晃动的影响的情况下以高精度测量移动体在与XY平面正交的Z轴方向的位置信息。此时，由于编码器系统及面位置测量系统的两者均可直接测量移动体上面，因此能简易且直接地控制移动体的位置。

主权项

一种测定装置，测定沿既定平面内移动的移动体的位置信息，其特征在于，具备：编码器系统，包含设于上述移动体的与上述平面平行的一面的复数个光栅，以及分别对该复数个光栅照射光、并个别地接收来自各光栅的反射光的复数个读头，以测量上述移动体在上述平面内的位置信息；以及面位置测量系统，包含复数个面位置传感器，该面位置传感器从与上述平面正交的方向将光照射于上述移动体，并接收其反射光来测量上述光的照射点中该移动体表面在与该平面正交的方向的位置信息，以测量上述移动体在与上述平面正交的方向及相对该平面的倾斜方向的位置信息。