发明名称 Micro-structure measurement device using diffraction of laser
摘要
申请公布号 KR101180247(B1) 申请公布日期 2012.09.05
申请号 KR20100020225 申请日期 2010.03.08
申请人 发明人
分类号 G01N21/47;G01B11/00;G01N23/20 主分类号 G01N21/47
代理机构 代理人
主权项
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