场效应管阈值电压漂移测量方法

摘要

本发明公开了一种场效应管阈值电压漂移测量方法，涉及场效应管电学特性测量技术领域，该方法包括步骤：在所述场效应管栅极施加恒定栅偏压Vstress一段时间后，不撤去Vstress，对栅极和漏极分别施加测量信号Vgm和Vdm，得到漏极电流-栅极电压转移特性曲线；将所述转移特性曲线与未加栅偏压Vstress时分别对栅极和漏极施加测量信号Vgm和Vdm测得的初始转移特性曲线比较得到所述场效应管的阈值电压漂移值。本发明减小了测量过程中外加测量信号对场效应管电学特性的影响，能准确地测量场效应管在栅偏压作用下的阈值电压漂移特性。

主权项

一种场效应管阈值电压漂移测量方法，其特征在于，在所述场效应管栅极施加恒定栅偏压Vstress一段时间后，不撤去Vstress，对栅极和漏极分别施加测量信号Vgm和Vdm，得到漏极电流‑栅极电压转移特性曲线；将所述转移特性曲线与未加栅偏压Vstress时分别对栅极和漏极施加测量信号Vgm和Vdm测得的初始转移特性曲线比较得到所述场效应管的阈值电压漂移值。