抗反射涂料组合物

摘要

本发明公开了具有减少的渗气的抗反射涂料组合物，该抗反射涂料组合物包含：(a)包含一种或多种官能团的聚合物，该官能团能够进行一种或多种选自共价键、离子键和氢键的相互作用；和(b)在加热时离解成组成部分的热酸产生剂，该组成部分能够进行一种或多种选自共价键、离子键和氢键的相互作用。

主权项

抗反射涂料组合物，包含：(a)包含一种或多种官能团的聚合物，该官能团能够进行一种或多种选自共价键、离子键和氢键的相互作用；和(b)在加热时离解成组成部分的热酸产生剂，该组成部分能够进行一种或多种选自共价键、离子键和氢键的相互作用，加热该抗反射涂料组合物以在基材上形成抗反射涂膜，该热酸产生剂的组成部分经由所述相互作用变为与所述聚合物的官能团键接，从而减少从所述抗反射涂膜的渗气，其中所述聚合物的官能团是羟基并且所述聚合物包含发色团，并且所述热酸产生剂选自2‑均三甲苯磺酸1，4‑重氮二环[2，2，2]辛烷铵、双(2‑均三甲苯磺酸)1，4‑重氮二环[2，2，2]辛烷铵、2‑均三甲苯磺酸的4，5‑二甲氧基‑2‑硝基苄基酯和4‑乙酰基苯磺酸的4，5‑二甲氧基‑2‑硝基苄基酯。