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发明名称 Power supply antenna and power supply method
摘要
申请公布号 EP1168415(B1) 申请公布日期 2012.09.05
申请号 EP20010114705 申请日期 2001.06.21
申请人 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 MATSUDA, RYUICHI;UEDA, NORIAKI;YOSHIDA, KAZUTO
分类号 C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205;H01Q1/36;H01Q7/00;H01Q21/06;H05H1/30 主分类号 C23C16/507
代理机构 代理人
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