测试装置

摘要

本发明提供一种在高速模式时生成自由度高的图案数据的测试装置。所述测试装置具有用于输出与和预定测试速度分别同步输入的输入图案相对应的图案数据的多个图案输出部，各图案输出部分别具有普通模式和高速模式两个动作模式，在高速模式下，各图案输出部分别将与输入至自己的图案输出部中的输入图案相对应的图案数据和与输入至其他图案输出部中的输入图案相对应的图案数据分别作为与多个分割速度对应的图案数据中的至少一个数据而输出。

主权项

一种测试装置，是根据图案数据来测试被测试器件的测试装置，其特征在于具有多个图案输出部，其输出与和预定的测试速度同步被分别输入的输入图案相对应的所述图案数据；各图案输出部分别具有如下两个动作模式：在测试速度内输出一个所述图案数据的普通模式，以及在分割测试速度而成的多个分割速度下分别输出所述图案数据的高速模式；在高速模式下，各所述图案输出部分别将与输入至自己的所述图案输出部中的所述输入图案相对应的所述图案数据，及与输入至其他所述图案输出部中的所述输入图案相对应的所述图案数据分别作为与多个所述分割速度对应的所述图案数据中的至少一种数据输出。