真空设备的传送装置

摘要

一种真空设备的传送装置，安装在一真空腔体上并用于传送一基板，该真空腔体包括一个界定出一腔室的腔壁，该传送装置包含：一传送机构，以及一导引机构。该传送机构包括数个位于该腔室中的承载轮、一个动力单元，以及一个连接该动力单元及所述承载轮的连结件。该动力单元包括一个穿过该腔壁而伸入该腔室的带动件、一个连动地结合在该带动件的内端并位于该腔室中的动力轮，以及一个连接且驱动该带动件转动的动力源。上述大部分构件都位于该腔室中，能减少该腔壁被贯穿的部位的数量，如此可以降低用于维持腔体真空度的构件成本。

主权项

一种真空设备的传送装置，安装在一个真空腔体上并用于传送一个基板，该真空腔体包括一个界定出一个腔室的腔壁，该真空设备的传送装置包含：一个传送机构，以及一个安装在该基板的上方与该腔壁之间，并用于导引该基板的移动行程的导引机构；其特征在于：该传送机构包括数个位于该腔室中并用于载送该基板的承载轮、一个动力单元，以及一个连接该动力单元及所述承载轮并将该动力单元的转动动力传送给所述承载轮的连结件，该动力单元包括一个穿过该腔壁而伸入该腔室的带动件、一个连动地结合在该带动件的内端并位于该腔室中的动力轮，以及一个位于该真空腔体的外部并连接且驱动该带动件转动的动力源。