近空值子孔径测量的拼接

摘要

一种通过子孔径拼接测量非球面测试对象的度量系统。对波阵面形状具有有限捕捉范围的波阵面测量仪在测试对象上收集部分重叠的子孔径测量元。可变光学像差仪通过在有限数量的测量元之间使测量波阵面重新成形，来将测量波阵面保持在波阵面测量仪的捕捉范围内。向拼接操作中并入多种误差补偿器，以管理与使用可变光学像差仪相关联的残余误差。

主权项

一种扩展用于测量非球面测试对象的度量系统的操作范围的方法，包括以下步骤：使波阵面传播器与物理测试对象相关联，使得波阵面传播器传送测量波阵面到物理测试对象；通过使用对波阵面形状具有有限捕捉范围的波阵面测量仪对测量波阵面的形状进行测量，来获得物理测试对象的部分重叠的波阵面测量元；在有限数量的测量元之间通过可变光学像差仪使所述测量波阵面重新成形，以使所述测量波阵面保持在波阵面测量仪的捕捉范围内；以及在将部分重叠的测量元组合成一个合成测量元的操作中并入补偿器，其中，所述补偿器在用于减少测量元的重叠部分之间的差异的操作中取值，所述差异至少部分归因于可变光学像差仪对所述测量波阵面的重新成形操作。