使用微机电系统装置的压力测量

摘要

本发明揭示一种用以测量压力的装置。在一个实施例中，所述装置包括：至少一个包括由空间分离的两个层(24、26)的元件，其中所述空间的尺寸在可变的时间周期中响应于施加在所述两个层上的电压而改变；以及测量模块，其经配置以测量所述时间周期，其中所述时间周期指示所述装置周围的环境压力。

主权项

一种用于测量压力的装置，其包括：至少一个包括由空间分离的两个层的元件，其中所述空间的尺寸在可变的时间周期中响应于施加在所述两个层上的电压而改变；以及测量模块，其经配置以测量所述可变的时间周期，其中所述时间周期是施加电压时与所述层中的至少一者的运动到达最大速度时之间的时间，且指示所述装置周围的环境压力。