发明名称 SHOWERHEAD DESIGN WITH PRECURSOR SOURCE
摘要
申请公布号 KR101180214(B1) 申请公布日期 2012.09.05
申请号 KR20107011508 申请日期 2008.10.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/36 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利