发明名称 SYSTEME D'INSPECTION ET PROCEDE D'IMAGERIE HAUTE VITESSE.
摘要 La présente invention porte sur un procédé et sur un système d'inspection, le système d'inspection comprenant une caméra (330) comprenant de multiples pixels ayant une largeur de pixel; une platine mécanique (310), pour l'introduction d'un mouvement entre un objet inspecté (300) et une optique (320) du système d'inspection; l'objet inspecté (300) étant attendu de déplacer d'une distance qui est sensiblement égale à la largeur de pixel pendant une période de mouvement de pixel; un module d'éclairement (317) et une optique (320) pour l'éclairement de parties inspectées de l'objet inspecté (300) et pour diriger une lumière des parties inspectées vers la caméra (330); et la caméra (330) étant agencée pour acquérir de multiples images acquises des parties inspectées pendant chaque période de mouvement de pixel, au moins deux images acquises se superposant partiellement.
申请公布号 BE1019646(A3) 申请公布日期 2012.09.04
申请号 BE20100000621 申请日期 2010.10.20
申请人 CAMTEK LTD 发明人 TAL SHALEM;DIAHA SHAPIROV
分类号 (IPC1-7):G01N21/88;G01N21/956 主分类号 (IPC1-7):G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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